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荷兰开发出用于纳米级传感的超大带宽集成光学传感器

原标题:荷兰开发出用于纳米级传感的超大带宽集成光学传感器

据美国物理学组织网站2020520日报道,荷兰埃因霍温理工大学开发了一种新型光学传感器,可提高测量的分辨率,并有助于实现包含激光器和片上传感平台的检测器在内的完全集成、紧凑的光学传感器。

该传感器通过光刻工艺制作波导和悬臂,由换能器、致动器和光电二极管组成,分辨率高达45飞米,测量时间仅几分之一秒;还具有80纳米的超宽光学带宽,无需昂贵的可调谐激光器,进而使传感器更加紧凑。

目前,研究人员计划基于该新型传感器开发集成在芯片上的纳米计量实验室,该实验室可用于半导体计量,能够在纳米级的精确位移和力测量中发挥关键作用,并有助于设计下一代微芯片和纳米电子产品。(中国电科13赵元英)

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